恒温恒湿试验箱 如何避免在做芯片双 85 试验时出现凝露?
芯片双85(85℃/85%RH)防凝露措施
核心原则:保证芯片样品表面温度 ≥ 环境露点(85℃/85RH露点≈81℃),样品不能比空气冷
一、样品入箱操作(最容易出凝露)
不要常温样品直接放进85℃箱优先:先把箱体预热到85℃,样品先在箱外预升温,或阶梯升温,等样品温度接近腔体温度,再调高湿度; 禁止:冷样品直接投入高温高湿环境,瞬间凝露。
样品摆放:不要贴箱壁、不要堆叠。箱体内壁温度偏低,紧贴会变成冷点;样品之间留风道,保证空气循环,样品整体温度均匀。
样品支架用导热均匀材质,避免局部冷点。

二、设备参数设置
控制升降温速率,不能过快升温阶段:先升温,温度稳定达到85℃后,再提升湿度到85%RH(关键!); 试验结束:先降湿度,再降温,不要带着高湿直接降温。
箱体配置要求:带防凝露加热、强循环风道,保证腔内温场均匀,消除箱壁冷壁凝露滴水落到样品上。
严禁大开门频繁取样,开门会带入大量冷空气,样品降温起露;如需中途取样,尽量缩短开门时间。
三、试验结束取出样品
试验完成,先把湿度降到低湿(如50%RH以下),保持85℃恒温一段时间,再缓慢降温; 等样品温度接近室温,再开箱取出。
错误操作:85℃、85RH状态下直接开箱拿样,冷热相遇,芯片表面立刻凝露。
四、标准提示(JEDEC JESD22-A101)
双85稳态湿热不允许样品表面存在液态凝露;一旦凝露,得到的失效属于假性失效,测试结果无效。
精简销售话术(发给客户)
双85试验防凝露要点:升温先稳温度、后加湿度;结束先降湿度、再降温;样品不能冷态直接入箱,样品远离箱壁,箱体配循环风道,避免样品表面低于露点产生水珠。
需要我整理成设备方案里的【试验操作规范】小段吗?
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